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產品展示

當前位置:首頁產品展示檢測儀器MITUTOYO/日本三豐日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
產品簡介:

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M采用微型化設計,整體尺寸較傳統探針縮小40%,可在Φ5mm以上孔徑內實現納米級測量。該探針配備金剛石測針(R0.1μm)和陶瓷懸臂梁結構,在10mN測量力下仍能保持±0.02μm的重復精度,特別適用于精密模具型腔、微機電系統(MEMS)等狹小空間的表面形貌測量。

產品型號:

更新時間:2025-07-26

廠商性質:代理商

訪 問 量 :344

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌MITUTOYO/日本三豐產地類別進口
價格區間面議產品種類龍門式
工作方式垂直式工作原理自動型
應用領域綜合

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M

1. 微型化結構設計

SP25M采用革命性的三級減震架構:(1)陶瓷基座內置空氣阻尼器,衰減環境振動達90%;(2)鈦合金探針臂重量僅0.8g,較傳統鋼制結構減輕65%;(3)納米級預緊力調節機構,通過0.01N·m扭矩螺絲實現測針夾持微調。這種設計使探頭整體尺寸控制在Φ3.2×15mm,為目前同精度等級最小體積。

2. 納米級測量系統

核心測量模塊包含:

  • 光學編碼器:采用衍射光柵技術,分辨率達0.5nm

  • 電容式位移傳感器:帶寬1kHz,響應時間<0.5ms

  • 溫度補償單元:內置4個PT100傳感器,實時修正熱變形誤差

測試數據顯示,在ISO Class 4潔凈環境下,對硅晶圓標準片進行100次重復測量,Z軸標準偏差僅為1.2nm(依據ISO 4287標準)。

3. 工業應用驗證

在豐田汽車噴油嘴檢測項目中:

  • 測量對象:Φ0.12mm微孔內壁粗糙度

  • 對比設備:傳統接觸式輪廓儀

  • SP25M優勢

    • 測量時間縮短40%(單孔3分鐘→1.8分鐘)

    • 數據完整性提升(可獲取傳統設備無法觸及的底部30%區域)

    • 劃傷率降至0.1%以下

4. 系統集成方案

通過標準化接口(符合ISO 9409-1)可快速對接:

  • 三豐CV-3200輪廓儀(需選配MNT-20適配器)

  • 蔡司O-INSPECT多傳感器測量機

  • 基恩士VHX-6000數字顯微鏡

典型配置包含:

SP25M探頭本體 ×1 R0.1μm金剛石測針 ×3 校準證書(JIS B 7506) ×1 防震運輸箱(IP67) ×1

5. 維護保養規范

  • 日常維護:每周用超純乙醇清潔測針接觸面

  • 周期校準:建議每500小時或溫度變化>5℃時進行

  • 壽命指標

    • 測針:50萬次接觸(R0.1μm規格)

    • 傳感器:≥3年(基于加速老化試驗)

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