產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-08-01
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：351
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | Hexagon/海克斯康 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)品種類 | 橋式 |
| 工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自動型 |
| 應用領域 | 綜合 |
海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference
海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference
Leitz Reference系列代表著海克斯康在工業(yè)計量領域的最高技術成就，專為計量實驗室和制造領域設計。作為幾何量測量的標準器，其突破性的技術架構重新定義了精密測量的可能性邊界。
QUARTZ納米級計量系統(tǒng)：
采用零膨脹石英玻璃光柵尺，熱膨脹系數(shù)低至0.05×10??/K
配備雙頻激光干涉儀，實現(xiàn)0.1nm分辨率
六軸全閉環(huán)控制，實時補償位置偏差
THERMO-ULTRA環(huán)境控制系統(tǒng)：
64點溫度監(jiān)測網(wǎng)絡，采樣頻率10Hz
自適應補償算法，溫度穩(wěn)定性±0.01℃/4h
主動氣浮隔震平臺，振動抑制>40dB(15-100Hz)
參數(shù)類別 | 技術指標 | 測試標準 |
|---|---|---|
空間精度 | 0.15μm+L/800μm | ISO 10360-2 |
重復性 | ≤0.08μm(3σ) | VDI/VDE 2617 |
溫度穩(wěn)定性 | 0.2μm/24h | JJF 1064 |
最大允許誤差 | 小于0.3μm+0.4L/1000μm | DIN 876 |
標準器溯源檢測：
可校準1等量塊、標準環(huán)規(guī)等最高等級計量器具
支持PLM模式下的絕對測量，不確定度<0.1μm
芯片制造質(zhì)量控制：
晶圓翹曲度測量分辨率達5nm
光刻機工件臺平面度全自動檢測
航空航天關鍵部件：
發(fā)動機葉片葉型輪廓測量，點距可調(diào)至10μm
航天器光學基準面共面性分析
REFERENCE-SPHERE智能校準系統(tǒng)：
內(nèi)置?50mm基準球，自校準時間<15分鐘
全自動誤差映射，生成補償系數(shù)矩陣
LEITZ-EXPERT測量軟件：
支持ISO 14253-1標準下的不確定性評估
可生成符合ILAC-P14要求的校準證書
遠程監(jiān)控與診斷：
4G/5G數(shù)據(jù)傳輸，實時監(jiān)測設備狀態(tài)
AI驅動的預測性維護系統(tǒng)
Leitz Reference不僅是一臺測量設備，更是現(xiàn)代制造業(yè)的質(zhì)量基石。其突破性的技術架構為芯片制造、航空航天、精密光學等領域提供了可靠的計量保障，將持續(xù)工業(yè)計量技術的新發(fā)展。
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