產品型號：
更新時間：2025-12-25
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：50
028-68749778
產品分類
| 品牌 | AIRTECH/艾爾泰克 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
日本AIRTECH JAPAN 潔凈空氣烘箱
日本AIRTECH JAPAN 潔凈空氣烘箱
AIRTECH JAPAN 潔凈空氣烘箱是一種專為高潔凈度環境設計的精密熱處理設備，它在傳統烘箱基礎上集成了高效空氣凈化系統，確保在處理敏感材料（如半導體元件、光學器件、醫藥原料等）時，既能提供精準的溫度控制，又能維持ISO 5級（Class 100）或更高的內部潔凈度。
核心用戶：半導體制造、精密電子、生物制藥、光學儀器、航空航天等制造業
關鍵價值：熱處理過程中的微粒容忍 + 工藝可重復性 + 數據完整性
應用場景：晶圓固化、光刻膠后烘、電子元件老化、試劑干燥、材料退火等
內置高效HEPA過濾器，保持箱內潔凈環境。
箱內溫度可在(外界溫度+60)℃至200℃范圍內進行調節。
采用溫度調節器可實現階梯式運行。無需一次性加熱至目標溫度，可設置分階段升溫程序。
| 型式 | AHO-530 |
|---|---|
| 清浄度 | ISO5（百級潔凈度）*溫度穩定狀態下，綜合效率 |
| 集塵效率 | 對0.3微米粒子達99.97%以上 |
| 集塵元件 | 主過濾器：高溫HEPA過濾器 前置過濾器：不銹鋼材質 |
| 庫內寸法 (mm) | 寬580×深580×高530（不含突出部分） |
| 庫內溫度 | 外気溫度+60℃～200℃ |
| 溫度分布 | ±2℃（200℃條件下） |
| 電源 | AC200V 3相 50/60Hz |
| 設備電力 | 最大：約8,000VA |
| 重量 | 約220kg |
| 結構 | 鋼板制烤漆 庫內·棚板：不銹鋼制（SUS436） |
| 外形寸法 (mm) | W770×D1,025×H1,597 |
| 其他 | 電源線機外2米 （電源連接部位形狀需另行協商） |
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