產品型號：
更新時間：2026-04-08
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：82
028-68749778
產品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee CGM2-051
日本ULVAC愛發科氣體分析儀Qulee CGM2-051
適用于各種濺射系統的理想過程監測
監測空氣泄漏
殘余水分管理
不需要差動泵系統（7.5 x 10-3 托/1 x 10-2 毫巴時小于1帕）
內置顯示器：無需電腦
高靈敏度泄漏測試可能 (CGM2-052)。更多泄漏測試。
提供多種泄漏測試（氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試、組件測試）
總壓力測量（離子ization gauge）可能
包括快速安裝包系統 (QIP)。自動測量包（詳見選項目錄）。
Qulee QCS 包含在內：此軟件包含在內且兼容 (Windows 8/10/11)
符合CE標準
光伏、平板顯示器和半導體系統的工藝監控
PVD系統中的殘余氣體分析
在PVD系統中控制雜質（H2O等）
用于泄漏測試
| 模型 | CGM2-051 | CGM2-052 | CGM2-101 | CGM2-102 |
| 質量過濾器類型 | 四極矩 | |||
| 質量范圍 | 1到50道爾頓 | 1到100 AMU | ||
| 分辨率 | M/ΔM=1M (10% P.H.) | |||
| 探測器類型 | 法拉第杯 (FC) | 電子顯微鏡 (SEM) / 法拉第杯 (FC) | 法拉第杯 (FC) | 電子顯微鏡 (SEM) / 法拉第杯 (FC) |
| 敏感度 | 0.1微安/帕 | SEM：0.1毫安/帕 | 0.1微安/帕 | SEM：0.1毫安/帕 |
| 13.3 微安/托 | SEM：13.3 毫安/托 | 13.3 微安/托 | SEM：13.3 毫安/托 | |
| 10 微安/毫巴 | SEM：10 毫安/毫巴 | 10 微安/毫巴 | SEM：10 毫安/毫巴 | |
| 可檢測 部分壓力 | 1×10-7 帕 | 標準誤差均值: 1×10-10 帕 | 1×10-7 帕 | 標準誤差均值: 1×10-10 帕 |
| 7.5×10-10 托 | 標準環境壓力：7.5×10-13 托 | 7.5×10-10 托 | 標準環境壓力：7.5×10-13 托 | |
| 1×10-9 毫巴 | 標準環境壓力：1×10-12 毫巴 | 1×10-9 毫巴 | 標準環境壓力：1×10-12 毫巴 | |
| 最大工作 壓力 | FC：2帕 | FC: 2帕, SEM: 1×10-2帕 | FC：2帕 | FC: 2 Pa, SEM: 1×10-2Pa |
| FC: 1.5×10-2托 | FC: 1.5×10-2 SEM: 7.5×10-5 毫托 | FC: 1.5×10-2托 | FC: 1.5×10-2 SEM: 7.5×10-5 毫托 | |
| FC: 2×10-2 毫巴 | FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 毫巴 | FC: 2×10-2 毫巴 | FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 毫巴 | |
| 線性度 | 1帕 | |||
| 7.5×10-3 毫托 | ||||
| 1×10-2 毫巴 | ||||
| 總壓力函數 | 有能力的 | |||
| 德加函數 | 電子束類型 300V, 5mA | |||
| 一鍵功能 | 能夠 / 他 / H2氧 / N2 / 氧2 / 任何氣體 | |||
| 一鍵泄漏測試功能 | 有能力的 | |||
| 輸入功率 | DC24V ±10% 50W | |||
| 最大傳感器 工作溫度 | 120℃ (248℉) | |||
| 最大傳感器 工作溫度 | 250℃ (482℉) | |||
| 工作溫度 范圍 | 10到40℃（50到104華氏度） | |||
| 工作濕度 范圍 | 15%到80%（不冷凝） | |||
| 通信接口 | 以太網 | |||
| 軟件 | Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11) | |||
| 適用標準 | 歐洲共同市場 | |||
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