產(chǎn)品分類
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科擺動(dòng)活干式真空泵DOP-40D往復(fù)式活塞式干式真空泵是一種通過(guò)連接到偏心旋轉(zhuǎn)軸的活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)輸送氣體的機(jī)械真空泵。
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科滾動(dòng)式干真空泵DIS-252這是一個(gè)通過(guò)螺旋墻（旋轉(zhuǎn) scroll）的偏心運(yùn)動(dòng)來(lái)抽氣的真空泵，它面對(duì)著固定螺旋墻（固定 scroll）。
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60低溫分布的均勻性。在PVD工藝中，抽空LL腔的優(yōu)化泵，縮短排氣時(shí)間以提高吞吐量很重要功能。
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵LR60低溫分布的均勻性。在PVD工藝中，抽空LL腔的優(yōu)化泵，縮短排氣時(shí)間以提高吞吐量很重要。 功能
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科螺桿式干式真空泵LS120A型號(hào):MS“ 是一種螺桿式干式真空泵。 耐腐蝕性和粉末排氣性能得到了基于傳統(tǒng)“LS 型號(hào)“的工藝阻力模型的提升。 該型號(hào)專為使用腐蝕氣體和粉末排氣的工藝設(shè)計(jì)。
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科螺桿式干式真空泵MS120A型號(hào):MS“ 是一種螺桿式干式真空泵。 耐腐蝕性和粉末排氣性能得到了基于傳統(tǒng)“LS 型號(hào)“的工藝阻力模型的提升。 該型號(hào)專為使用腐蝕氣體和粉末排氣的工藝設(shè)計(jì)。
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