日本KOSAKA小坂微細形狀測定機 ET8000代理

日本KOSAKA小坂微細形狀測定機 ET8000代理是一款專為高精度表面形貌分析設計的*設備，廣泛應用于半導體、光電、精密加工及科研領域。該設備以納米級測量精度和多功能性為核心優勢，能夠滿足復雜表面形貌的嚴苛檢測需求。

?核心性能參數方面?，ET8000展現出的精度與穩定性：

• ?測量范圍?：Z軸最大測定范圍達100μm，X軸移動量100mm，支持最大工件尺寸210mm×210mm，適應不同尺寸樣品需求。

• ?分辨率與重復性?：Z軸分辨率0.1nm，重現性1σ 0.5nm以內，臺階重現性可達0.2nm以下，確保微小臺階的精確捕捉。

• ?測定力與觸針?：測定力范圍0.5μN至500μN，觸針半徑可選0.5μm、2μm，適應軟質與硬質材料表面測量。

• ?驅動與定位?：采用直動式驅動方式，移動真直度0.005μm/5mm，線性尺分解能0.01μm，位置定位再現性±5μm，保障長距離測量的高精度。

?功能特點上?，ET8000具備多項創新設計：

• ?超高直線度保證?：確保量測圖形不受移動軸影響，支持長距離量測及表面翹曲度、波紋度、內應力解析。

• ?*檢出器?：采用超低噪音直動式LVDT傳感器，減少測量誤差。

• ?高分辨率定位?：配備高分辨率CCD，實時觀測測量過程，提升操作便捷性。

• ?中文化軟件?：支持60多種測量參數，可對應各種國際規范，滿足多樣化分析需求。

?應用領域廣泛?，ET8000適用于半導體硅片表面形貌、臺階高度、薄膜厚度測量，平板顯示基板平整度、段差檢測，以及精密機械零部件的表面形狀、尺寸精度測量等，為工藝控制與研發分析提供關鍵數據支持。