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德國Bruker/布魯克 Dektak XTL探針式輪廓儀 Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復(fù)性。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力，其高自動化水平可更大限度地提高測試通量。

德國Bruker/布魯克 觸針式輪廓儀Dektak Pro Dektak Pro 提供高分辨率、低噪聲地板和任何商業(yè)上可用的觸針輪廓儀中具準(zhǔn)確性和精確性的數(shù)據(jù)。*的測量和分析技術(shù)大限度地提高了可重復(fù)性和準(zhǔn)確性，使單納米步高測量和優(yōu)于 4 Å 的可重復(fù)性成為可能。

美國KLA科磊Tencor® P-17探針式輪廓儀P-17探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)200毫米，無需拼接。

美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀Tencor P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無需拼接。

美國KLA科磊HRP®-260探針式輪廓儀 HRP®-260 是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量，掃描范圍可達(dá) 200 毫米且無需拼接。HRP®-260 配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺以獲得類似 AFM 的掃描結(jié)果。HRP 系列高分辨率輪廓儀具有*的圖形識別算法

美國KLA科磊Tencor® P-170 探針式輪廓儀Tencor P-170是一款自動化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，掃描范圍可達(dá)200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有*的圖形識別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和*的樣品臺，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的性能和系統(tǒng)之間程式傳輸?shù)臒o縫銜接 - 這是實(shí)現(xiàn)全天候生產(chǎn)的關(guān)鍵。