日本OTSUKA大塚 嵌入式膜厚監(jiān)測(cè)器

日本OTSUKA大塚 嵌入式膜厚監(jiān)測(cè)器

日本OTSUKA大塚嵌入式膜厚監(jiān)測(cè)器是一款集高精度、高速度與多功能性于一體的光學(xué)測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板、光學(xué)材料及薄膜制造等領(lǐng)域。

該監(jiān)測(cè)器采用光干涉法，通過(guò)測(cè)量薄膜上下表面反射光的光程差引起的干涉現(xiàn)象，結(jié)合紫外到近紅外波段的光譜分析，精確計(jì)算膜厚、折射率（n）和消光系數(shù)（k）。其核心優(yōu)勢(shì)在于非接觸、非破壞性測(cè)量，避免了對(duì)樣品的損傷，同時(shí)支持多層膜解析，最多可分析50層薄膜結(jié)構(gòu)，滿足復(fù)雜薄膜分析需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)顯著：其一，高精度與高再現(xiàn)性，量測(cè)紫外到近紅外波段內(nèi)的反射率，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性；其二，高速測(cè)量，單點(diǎn)對(duì)焦加量測(cè)在1秒內(nèi)完成，大幅提升生產(chǎn)效率；其三，操作簡(jiǎn)便，配備直觀的軟件系統(tǒng)，初學(xué)者也能輕松完成光學(xué)常數(shù)分析；其四，靈活性強(qiáng)，量測(cè)頭可自由集成到客戶系統(tǒng)中，支持各種inline定制化需求。

在應(yīng)用場(chǎng)景方面，該監(jiān)測(cè)器表現(xiàn)。在半導(dǎo)體行業(yè)，可精確測(cè)量SiO?、SiN等絕緣膜以及光刻膠的厚度，助力工藝控制；在FPD行業(yè)，能分析彩色光阻、ITO透明導(dǎo)電膜等關(guān)鍵材料的膜厚，確保顯示質(zhì)量；在光學(xué)材料領(lǐng)域，可測(cè)量濾光片、抗反射膜等薄膜的光學(xué)常數(shù)，優(yōu)化產(chǎn)品性能。

此外，該監(jiān)測(cè)器還具備強(qiáng)大的兼容性，支持多種波長(zhǎng)范圍和膜厚測(cè)量范圍的選擇，如OPTM-A1、A2、A3等型號(hào)，分別適用于不同厚度的薄膜測(cè)量。同時(shí)，設(shè)備通過(guò)NIST認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果的可追溯性，精度達(dá)±0.2%，重復(fù)性0.1nm。