日本OTSUKA大塚膜厚測定多通道分光器MCPD

日本OTSUKA大塚膜厚測定多通道分光器MCPD

日本OTSUKA大塚電子推出的MCPD系列多通道分光器，是一款專為膜厚測量及光學特性分析設計的高性能儀器。該系列憑借其高速、高精度、高動態范圍及低雜散光等特性，在半導體、顯示面板、光學材料等領域得到廣泛應用。

MCPD系列的核心競爭力在于其突破性的光學設計。它采用閃光全息照相型光柵分光系統，配合電子冷卻型CCD或InGaAs圖像傳感器，實現了從紫外到近紅外波段（220nm-1600nm）的高速光譜測量，最短曝光時間僅5毫秒。這一特性使其能夠捕捉快速變化的光譜信號，滿足生產線上的即時檢測需求。同時，該系列具備動態范圍（可達1,000,000:1以上），能在一次測量中同時捕獲強和極弱的光信號細節，無需多次曝光即可準確分析從高亮度光源到微弱熒光的各種樣本。

在膜厚測量方面，MCPD系列表現出色。它支持多層膜解析，最多可分析50層薄膜結構，適用于半導體晶圓上的氧化膜、氮化膜、光阻膜等薄膜的厚度測量。此外，該系列還具備物體顏色測量、光源顏色評估（色度、輝度、照度）、熒光測量等多種功能，滿足不同應用場景的需求。

MCPD系列還注重用戶體驗和便捷性。它采用小巧輕量化設計，體積比舊機型減少約60%，便于集成到各種復雜的測量系統中。同時，該系列配備USB和LAN通信接口，支持遠程測量和自動化檢測，為集成應用提供了便利。用戶還可以通過專用軟件進行數據采集、存儲和處理，實現全面的光譜分析功能。