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當前位置:首頁產品展示生產工具耗材ULVAC/日本愛發科日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H

日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H
產品簡介:

日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H“Model: CRYO-U8H" 是一種使用二級 GM 冷卻器的低溫泵,能夠實現高真空抽氣。

產品型號:

更新時間:2026-04-03

廠商性質:代理商

訪 問 量 :48

服務熱線

028-68749778

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品牌ULVAC/日本愛發科輸送介質其他
泵軸位置臥式葉輪數目其他
應用領域綜合

日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H

日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H

日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H

CRYO-U4H是日本ULVAC(愛發科)推出的一款高真空低溫泵,隸屬于CRYO-U系列,依托品牌70余年真空技術積淀,專為半導體、電子設備、光學及科研等領域的高真空需求場景設計。該產品采用兩級GM制冷機技術,可穩定實現高真空至超高真空環境,為精密制造與前沿研究提供可靠的真空保障。

二、核心性能優勢

  1. 抽氣效率:作為4英寸規格低溫泵,CRYO-U4H具備強勁抽速表現,20℃環境下氮抽速可達450升/秒,氫抽速500升/秒,水抽速更是高達1100升/秒,能快速建立并維持真空環境,顯著提升生產與實驗效率。極限壓力可達10^-7帕,滿足超高真空應用標準。

  2. 智能集群控制:支持單壓縮機驅動多臺泵體運行,最多可串聯4臺CRYO-U4H,大幅降低設備投入與運維成本,尤其適合多工位生產線集中管控。

  3. 定制化適配:可根據客戶應用場景進行針對性設計調整,如優化冷卻路徑、適配特殊接口等,靈活匹配半導體濺射工藝、小型精密儀器研發等多樣化需求。

三、技術與結構特點

產品采用閉式循環氦制冷系統,無需頻繁補充冷卻液,實現長期穩定運行。制冷機分為兩級:一級制冷能力強勁,可將溫度降至80K以下,為二級制冷提供熱屏蔽;二級制冷雖功率較小,但能將冷頭溫度降至10-12K,通過15K低溫面板實現氣體冷凝與吸附。80K級屏蔽層有效減少熱輻射干擾,保障低溫面板制冷效率。整機重量僅14.5公斤,緊湊設計節省安裝空間,同時具備低震動、低噪音特性,適配精密環境要求。

四、品牌與服務保障

ULVAC作為*真空技術企業,在蘇州、上海、成都等地設立生產與服務基地,為中國客戶提供本地化技術支持與售后保障。CRYO-U4H憑借穩定性能與品牌口碑,成為半導體芯片制造、光學元件鍍膜等領域的核心真空設備之一

功能

  • 輕便緊湊。已發貨數量眾多。我們的標準低溫泵。

  • 適用于實驗系統和小型設備。

  • 多個操作(最多3個單位)

  • 超高真空(10-8 Pa或更低)


規格

泵速(20℃)中長褲1700
氫氣2,700
1,400
4000
壓力壓力(托)10-7(10-9)
最大流量Pa?L/s(托拉斯?L/s)1.2×103(8.9)
泵的容量Pa?L(托耳?升)1.0×108(7.6×105)
氫氣1.0×106(7.6×103)
冷卻時間
(電源循環)
最小頻率(赫茲)100/90(50/60)
安裝法蘭UVG-200,6BANSI,UFC-253
壓縮機裝置C10T,C10AT
重量千克20.8

*維護間隔:16,000小時



尺寸(單位:毫米)

日本ULVAC愛發科高真空泵低溫泵CRYO-U8H

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