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產(chǎn)品展示生產(chǎn)工具耗材ULVAC/日本愛發(fā)科日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極真空計(jì)SH200-A
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2026-04-07
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：72
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極真空計(jì)SH200-A
日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極真空計(jì)SH200-A
ULVAC 自有概念：可根據(jù)應(yīng)用連接不同測(cè)量范圍的傳感器頭。
緊湊：與前一型號(hào)相比顯著減小（控制器體積減少56%）。世界緊湊的類別。
高可用性：通過連接PC/Android進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、條件檢查等。
更全面的選擇：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格外，還將提供EtherCAT規(guī)格。
燈絲壽命通知功能：通過觀察燈絲電源，可以在離子化真空計(jì)的壽命到期前發(fā)出警告。
廣泛的測(cè)量范圍：測(cè)量范圍從大氣壓到超高真空（1 x 10+5到5 x 10-8Pa）是可能的（當(dāng)與可選單元SWU10-R一起使用時(shí)）。
精確的大氣壓力感應(yīng)：在使用可選單元SAU時(shí)，可以進(jìn)行腔室開啟的大氣壓力檢查。
在高真空范圍內(nèi)對(duì)半導(dǎo)體或電子設(shè)備的真空設(shè)備進(jìn)行過程控制。
對(duì)具有多個(gè)工藝腔的在線或批次型真空設(shè)備進(jìn)行壓力檢查。
高真空或超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量。
| 模型 | SH200-A | SH200-R | ST200-E （計(jì)劃發(fā)布） | |
| 類型 | 模擬輸出類型 | 串行通信類型 | EtherCAT 通信類型 | |
| 適用的電離 測(cè)量傳感器頭 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可連接傳感器 | 多電離真空計(jì) SH200: 1 皮拉尼真空計(jì)傳感器單元 SWU10-R: 1 (可選) 壓力傳感器單元 SAU: 1 (可選) | |||
| 重復(fù)性 (N2) | SH200 簡(jiǎn)單模式：±2％ | |||
| 采樣時(shí)間 | 60 毫秒，5次移動(dòng)平均 | |||
| 值輸出 | 輸出電壓：0到10 VDC，LOG輸出：0.75 V/1 decade 壓力轉(zhuǎn)換方程：V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時(shí)間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號(hào) | FIL 開/關(guān)、FIL 1/2、DEGAS 開/關(guān)使用開漏輸入，負(fù)邏輯 | 輸入：- | 輸入：- | |
| 控制輸出信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3，排放有效 燈絲電力表 額定電壓：24V最大、50mA最大 飽和電壓：1V | 輸入：- | 輸入：- | |
| 通信類型 | 輸入：- | RS232C/RS-485 | 以太網(wǎng)控制自動(dòng)化技術(shù) | |
| LED 顯示屏 | 電源：電源，錯(cuò)誤指示燈（根據(jù)每個(gè)模式閃爍模式和顏色變化） | |||
| 發(fā)射電流 | 1毫安 (1×10-3帕或更低)， 10微安 (1×10-3帕或更高) | |||
| 德加方法 | 電子束類型 1mA, 330V | |||
| 傳感器最大壓力 | 2×10+5Pa (1.5 x 10+3 毫托, 2 x 10+3 毫巴) (絕對(duì)壓力) ＊需要單獨(dú)的措施來承受壓力，例如法蘭和夾具 | |||
| 傳感器的內(nèi)部體積 | 17厘米3(M-44), 19厘米3(M-45), 17厘米3(M-46) | |||
| 工作溫度范圍 | 10到50℃（50到122？） | |||
| 操作濕度范圍 | 15到80%（不冷凝） | |||
| 儲(chǔ)存溫度 | -20至65℃（-4至149？）（在非通電、不冷凝情況下） | |||
| IP等級(jí) | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20至28V（紋波、噪聲1%或更少）低于8W | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15-pin (M2.6 螺絲) | |||
| 重量 | 傳感器單元：約280克，傳感器頭（M-44/45）：80克，（M-46）：300克 | |||
| 尺寸 W x D x H | 69毫米×63毫米×90毫米（僅感光元件單元） | |||
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | 歐洲共同市場(chǎng) | |||
| 選項(xiàng) | 多電離探測(cè)器傳感器頭 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 氣體接觸部分的材料：燈絲1, 2 -Ir/Y2O3 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar 玻璃， Kovar/Ni 鍍層 | ||
| 皮拉尼真空計(jì) | SWU10-R *舊型號(hào)SPU也提供 | |||
| 皮拉尼真空計(jì)傳感器頭 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 管端), SWP-P15(Φ15 管端), SWP-CF16(ICF034) 接觸氣體部分的材料：線圈-鉑，其他-BS/Ni 鍍層，鎳，焊料 | |||
| 壓力開關(guān) | SAU(NW16) 氣體接觸部分的材料：SUS316L | |||
| 單位電纜 | GUC-200P (適用于SWU10-R) ：0.5米, 1米, 2米 GUC-200A (適用于SAU) ：0.5米, 1米, 2米 | |||
| 顯示裝置 | 1CH：ISG1（直流24伏） | |||
| 顯示電纜 | SH200和desiplay unit之間的電纜 2米，5米，10米，15米，20米，25米，30米，35米，40米 | |||
| 連接器 | I/O連接器 (D-sub15-插座（M2.6mm 螺絲)) | |||
| 其他 | 測(cè)試證書，校準(zhǔn)證書 | |||
“Model:SH200" 有三種選項(xiàng)；簡(jiǎn)單模式，帶有離子室；組合模式，帶有離子室和皮拉尼計(jì)（SWU10-R）；三重組合模式，帶有離子室、皮拉尼計(jì)（SWU10-R）和壓力開關(guān)（SAU）。
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 簡(jiǎn)單模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 組合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 三重組合模式 |
| 可測(cè)量的壓力范圍 | 5.0×10-8 到 1.0×10+1帕 | 5.0×10-8 至 1.0×10+5帕 | 5.0×10-8 到 1.0×10+5帕 |
| 準(zhǔn)確性 | 5.0×10-8 至 1.0×10+1帕： ±15% | 5.0×10-8 至 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 至 3.0×10+0Pa：±10‐±15% 3.0×10+0 至 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 至 1.0×10+5Pa：±20% | 5.0×10-8 到 4.0×10-1 Pa：±15% 4.0×10-1 到 3.0×10-1 Pa：±10‐±15% 3.0×10+0 到 1.0×10+4 Pa：±10% 1.0×10+4 到 3.0×10+5 Pa：±3%F.S.(3.0×10+3 Pa?基準(zhǔn)溫度: 25℃) |
| 連接圖像 |  |  |  |
| 可測(cè)量的壓力范圍圖像 |  三重組合可以在需要“大氣壓力"檢查以打開腔室時(shí)使用。 | ||
| 適用于PC | 從ULVAC網(wǎng)站“ULVAC SHOWCASE"下載中心下載 |
| 對(duì)于智能手機(jī) | 從 Google Play 下載 |
| 個(gè)人電腦 | Windows 10 64 位或更高版本 |
| 智能手機(jī) | Android 6或更高版本，USB TypeC |
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