產品型號：
更新時間：2026-04-07
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：52
028-68749778
產品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發科冷陰極電離硅管SC1
日本ULVAC愛發科冷陰極電離硅管SC1
傳感器規格
當不需要壓力顯示時，可以實現以下優勢：
? 真空計成本降低，因為消除了顯示
? 更小的尺寸釋放了控制面板的空間
? 電線減少
維護大大簡化
燈絲被消除：沒有因暴露于大氣壓力下而造成的損壞
控制輸出符號：2 個設定輸出
輸出信號：壓力讀數為0到10V的對數輸出（非線性輸出）
電源電壓：由直流24V供電
在半導體、光學和電子元件制造中使用精密真空設備的的壓力范圍內的過程控制
低真空范圍內工業設備（如爐子）的過程控制
在真空中系統具有多個工藝腔室的范圍內進行壓力控制，例如在線磁控濺射和單晶圓處理設備
| 類型 | 傳感器單元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 兼容傳感器頭 | C-21, 23, 24, 25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10-5 到 1.0 帕 | ||
| 7.5×10-8 到 7.5×10-3 托 | |||
| 1.0×10-7 到 1.0×10-2 毫巴 | |||
| 準確性 | ＋100%，－50%（1.0×10-4 至 1.0×10-1 Pa） | ||
| ＋100%，－50%（7.5×10-7 至 7.5×10-4 托） | |||
| ＋100%，－50%（1.0×10-6 至 1.0×10-3 毫巴） | |||
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0到10V直流 | ||
| 壓力設定調整監視器 | 非線性輸出：0到10V直流 | ||
| 控制輸入信號 | 高壓開啟/關閉 | ||
| 控制輸出信號 | 開漏輸出，負邏輯 電氣放電確認/設定點控制信號 1/2 | ||
| 控制輸出信號 | 開漏輸出，負邏輯 電氣放電確認/設定點控制信號 1/2 | ||
| LED 顯示屏 | 電源，高電壓，保護，設定點1/2 | ||
| 工作溫度范圍 | 10到40℃（50到104°F） | ||
| 操作濕度范圍 | 15到80%（不冷凝） | ||
| 電源電壓 | DC24V±2V，150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15針（M2.6 螺絲） | ||
| 重量 | 430克（不包括傳感器頭） | ||
| 標準配件 | 輸入/輸出連接器 1個 | ||
| 快速手冊 1件 |
* IO和模擬地沒有與電源地隔離。
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